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论文《极紫外Mg_Si多层膜的改进和表征》介绍了在长三角地区科技论坛激光分论坛暨上海市激光学会2011年学术年会上发表的研究成果。该研究针对极紫外光谱区域的光学性能，通过优化Mg_Si多层膜的结构与制备工艺，提升了其反射率和稳定性。研究采用先进的薄膜制备技术，并通过多种表征手段分析了材料的微观结构与光学特性，为极紫外光刻和成像技术提供了理论支持与实验依据。 ","role":"assistant文档为pdf格式，0.2MB，总共4页。
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- 极紫外Mg_Si多层膜的改进和表征 - 长三角地区科技论坛激光分论坛暨上海市激光学会2011年学术年会.pdf ...
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