论文《微波低噪声SiGe HBT的研发》介绍了SiGe HBT在微波领域的应用与研究进展。通过优化器件结构和工艺,提升了器件的高频性能和低噪声特性。该研究为高性能射频集成电路提供了关键技术支撑,对推动我国半导体器件产业发展具有重要意义。
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