该论文介绍了微漏率真空标准漏孔的相关研究,探讨了其在真空计量中的应用与校准方法。文章由中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会发表,旨在提升真空系统泄漏检测的准确性与可靠性,为相关领域的技术发展提供理论支持。
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