平行板式静电微执行器动态Pull-in现象分析 - 2011’全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会.pdf

本文研究了平行板式静电微执行器在动态负载下的Pull-in现象。通过建立数学模型，分析了电场力与机械力之间的相互作用，探讨了Pull-in电压和响应时间等关键参数。研究结果对优化微执行器设计、提高其稳定性和可靠性具有重要意义。

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2025-12-14 05:16 上传 平行板式静电微执行器动态Pull-in现象分析 - 2011’全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会.pdf

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