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论文《平面渐变螺旋ICPS介质基片对性能的影响》探讨了平面渐变螺旋结构在ICPS（等离子体源）中的应用及其对性能的影响。通过实验与仿真分析，研究发现介质基片的结构参数对等离子体生成效率和均匀性有显著影响。该成果为优化ICPS设计提供了理论依据和技术支持，对微波能应用领域具有重要意义。 ","role":"assistant文档为pdf格式，0.6MB，总共5页。
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- 平面渐变螺旋ICPS介质基片对性能的影响 - 第十五届全国微波能应用学术会议.pdf ...
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