新资汇»首页 › 参考资料 › 工业技术 › 大面积VHF-PECVD沉积系统的研制及其微晶硅薄膜电池工艺 ...

大面积VHF-PECVD沉积系统的研制及其微晶硅薄膜电池工艺研发 - 中国可再生能源学会2011年学术年会.pdf

3 0

2025-12-14 04:42 | 查看全部阅读模式

论文介绍了大面积VHF-PECVD沉积系统的研制及其在微晶硅薄膜电池工艺中的应用。该系统通过优化等离子体参数和反应条件，实现了高质量微晶硅薄膜的制备。研究还探讨了薄膜结构与光电性能的关系，为高效、低成本的太阳能电池开发提供了技术支持。

文档为pdf格式，0.58MB，总共4页。

大面积VHF-PECVD沉积系统的研制及其微晶硅薄膜电池工艺研发 - 中国可再生能源学会2011年学术年会

2025-12-14 04:42 上传

大面积VHF-PECVD沉积系统的研制及其微晶硅薄膜电池工艺研发 - 中国可再生能源学会2011年学术年会.pdf

文件大小:: 593.92 KB

下载次数:: 60

大面积VHF-PECVD沉积系统的研制及其微晶硅薄膜电池工艺研发 - 中国可再生能源学会2011年学术年会.pdf ...

高速下载

大面积, 薄膜, 年会, 中国, 电池

【温馨提示】您好！以下是下载说明，请您仔细阅读：
1、推荐使用360安全浏览器访问本站，选择您所需的PDF文档，点击页面下方“下载”按钮。
2、耐心等待两秒钟，系统将自动开始下载，本站文件均为高速下载。
3、下载完成后，请查看您浏览器的下载文件夹，找到对应的PDF文件。
4、使用PDF阅读器打开文档，开始阅读学习。
5、使用过程中遇到问题，请联系QQ客服。

本站提供的所有PDF文档、软件、资料等均为网友上传或网络收集，仅供学习和研究使用，不得用于任何商业用途。
本站尊重知识产权，若本站内容侵犯了您的权益，请及时通知我们，我们将尽快予以删除。

大面积VHF-PECVD沉积系统的研制及其微晶硅薄膜电池工艺研发 - 中国可再生能源学会2011年学术年会.pdf

相关文档

能源电力

化工

建筑工程

机械

电子信息

医药

科学