论文《基于阻抗变换的膜厚测量系统设计》提出了一种利用阻抗变换原理进行膜厚测量的新方法。该系统通过分析材料表面的阻抗变化,实现对薄膜厚度的高精度检测。文章详细介绍了系统的硬件结构与软件算法,并通过实验验证了其可行性与准确性,为薄膜测量提供了新的技术思路。
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