|
该论文介绍了基于DMD全息光刻的软件设计，探讨了在长三角地区科技论坛激光分论坛暨上海市激光学会2011年学术年会上的相关研究成果。文章重点阐述了软件系统在全息光刻中的应用，包括光路控制、图像处理及优化算法等关键技术，旨在提升光刻精度与效率。研究为高精度微结构制造提供了新的技术路径，具有重要的理论和应用价值。 文档为pdf格式，0.06MB，总共1页。
- 文件大小:
- 61.44 KB
- 下载次数:
- 60
- 基于DMD全息光刻的软件设计 - 长三角地区科技论坛激光分论坛暨上海市激光学会2011年学术年会.pdf ...
-
高速下载
| 
