固定流导法气体微流量计测量下限延伸方法研究 - 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会.pdf

该论文研究了固定流导法气体微流量计的测量下限延伸方法，旨在提高其在低流量范围内的测量精度。通过分析气体流动特性与流导关系，提出优化设计和校准策略，以扩展测量下限。研究成果对提升真空计量技术具有重要意义，为相关领域的应用提供了理论支持和技术参考。

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2025-12-14 03:06 上传 固定流导法气体微流量计测量下限延伸方法研究 - 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会.pdf

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