含碘鎓盐光产酸剂和染料增感剂的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂 - 中国感光学会成立30周年庆祝大会暨2011年学术年会.pdf

该论文介绍了含碘鎓盐光产酸剂和染料增感剂的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂。通过引入碘鎓盐作为光产酸剂，结合染料增感剂提高对i-线的吸收效率，优化了光刻胶的灵敏度和分辨率。研究结果表明，该光致抗蚀剂具有良好的光化学性能，适用于高精度微细加工领域，为光刻技术的发展提供了新思路。

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2025-12-14 02:58 上传 含碘鎓盐光产酸剂和染料增感剂的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂 - 中国感光学会成立30周年庆祝大会暨2011年学术年会.pdf

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