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双端固支梁MEMS谐振器的建模与仿真 - 中国电子学会电路与系统学会第二十三届年会.pdf

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本文介绍了双端固支梁MEMS谐振器的建模与仿真研究，针对其结构特性与振动行为进行了深入分析。通过建立精确的力学模型，结合有限元方法进行仿真，验证了谐振器的频率响应与性能参数。研究为MEMS器件的设计与优化提供了理论依据，具有重要的工程应用价值。

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双端固支梁MEMS谐振器的建模与仿真 - 中国电子学会电路与系统学会第二十三届年会

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谐振器, 建模, 年会, 电路, 系统

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