分子流动态进样比对法正压漏孔校准方法 - 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会.pdf

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2025-12-14 02:18 | 查看全部 阅读模式

该论文介绍了分子流动态进样比对法在正压漏孔校准中的应用。通过比较不同进样条件下的分子流特性,提高了漏孔校准的准确性和可靠性。研究为真空系统检测提供了新的技术手段,对提升检漏精度具有重要意义。

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分子流动态进样比对法正压漏孔校准方法 - 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会
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