光谱椭偏仪的校准方法及测量结果不确定度评定 - 中国计量测试学会光辐射计量学术研讨会.pdf

论文《光谱椭偏仪的校准方法及测量结果不确定度评定》探讨了光谱椭偏仪的校准技术及其测量不确定度的评估方法。文章提出了系统的校准流程，分析了影响测量精度的关键因素，并建立了不确定度评定模型。通过实验验证，提高了光谱椭偏仪的测量准确性和可靠性，为光学薄膜参数的精确测量提供了理论依据和技术支持。

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2025-12-14 01:58 上传 光谱椭偏仪的校准方法及测量结果不确定度评定 - 中国计量测试学会光辐射计量学术研讨会.pdf

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