三氯氢硅合成与多晶硅还原尾气全组分干法回收合并新工艺 - 中国化工学会2011年年会暨第四届全国石油和化工行业节能节水减排技术论坛.pdf

该论文介绍了三氯氢硅合成与多晶硅还原尾气全组分干法回收合并新工艺，旨在提高资源利用率和减少环境污染。通过整合合成与回收过程，实现尾气中多种成分的高效回收，降低能耗和排放，为化工行业提供了一种节能环保的新途径。

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2025-12-14 01:07 上传 三氯氢硅合成与多晶硅还原尾气全组分干法回收合并新工艺 - 中国化工学会2011年年会暨第四届全国石油和化工行业节能节水减排技术论坛.pdf

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