一种光电式微位移测量装置 - 第九届全国信息获取与处理学术会议.pdf

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论文《一种光电式微位移测量装置》介绍了基于光电原理的微位移测量系统。该装置通过光电信号的变化实现对微小位移的高精度检测,具有响应快、灵敏度高等优点。文章详细阐述了系统的结构设计与工作原理,并给出了实验测试结果,验证了其在精密测量中的应用价值。

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一种光电式微位移测量装置 - 第九届全国信息获取与处理学术会议
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