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GB 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法 ...
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GB 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
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admin
发表于 2024-9-23 07:19
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半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
Theactivationanalysismethodforthedeterminationofelementalimpuritiesinsemiconductorsiliconmaterials
摘要:本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。
标准编号:GB4298-1984
标准类型:GB
发布单位:国家标准局
发布日期:1984年1月1日
强制性标准:否
实施日期:1985年1月1日
关键词:金属,含量测定,材料,杂质,非金属夹杂物,辐射测量法,硅,半导体,Non-metallicinclusions,Semiconductors,Radiometry,Silicon,Materials,Metals,Determinationofcontent,Impurities
GB 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法.pdf
2024-9-23 07:19 上传
GB 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法.pdf
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半导体
,
活化
,
杂质
,
元素
,
材料
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