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《SOI高温压力传感器研究进展及应用》是中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议的重要议题之一。该文综述了SOI（Silicon On Insulator）技术在高温压力传感器中的应用现状与发展趋势，分析了其在高温环境下的性能优势与技术挑战。文章探讨了SOI材料的结构特性、制造工艺以及传感器在航空航天、能源等领域的实际应用案例，为相关研究提供了理论支持和技术参考。 ","role":"assistant文档为pdf格式，0.58MB，总共5页。
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