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《MoCr合金薄膜的应力特性研究》是中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议的重要论文之一。该研究聚焦于MoCr合金薄膜在不同制备条件下的应力行为，分析了其微观结构与宏观应力之间的关系。通过实验手段，如X射线衍射和拉曼光谱等，研究人员探讨了薄膜厚度、沉积速率及退火工艺对应力分布的影响。该成果为提高薄膜器件的稳定性和可靠性提供了理论依据，对微电子和精密仪器领域具有重要意义。 文档为pdf格式，0.14MB，总共4页。
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