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《Fabrication of the Low-dimension Functional Materials by Helicon Magnetron Sputtering》是广东省真空学会2011年学术年会中的一篇重要论文。该文介绍了利用氦环形磁控溅射技术制备低维功能材料的研究成果。通过该技术，可以高效、均匀地沉积纳米结构材料，为新型电子器件和光电器件的开发提供了新途径。文章详细阐述了实验过程、材料特性分析及应用前景，展示了该技术在材料科学领域的潜力。此次学术年会汇聚了众多专家学者，共同探讨真空技术的最新进展，推动了相关领域的交流与合作。 文档为pdf格式，0.15MB，总共3页。
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