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《AIN薄膜体声波谐振器的二维数值模拟》是重庆市声学学术交流会上的一篇重要论文。该研究针对氮化铝(AIN)薄膜体声波谐振器进行二维数值模拟,探讨其在高频滤波器和传感器中的应用潜力。通过有限元方法,分析了谐振器结构参数对频率响应和品质因数的影响,为优化器件性能提供了理论依据。研究结果有助于提升声波器件的性能,推动微电子与声学技术的发展。该论文展示了当前声学领域的最新研究成果,为相关领域的研究人员提供了有价值的参考。 文档为pdf格式,0.11MB,总共3页。
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- AIN薄膜体声波谐振器的二维数值模拟 - 重庆市声学学术交流会.pdf
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