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    [冶金] GBT 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

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    2024-9-23 01:24 | 查看全部 阅读模式
    硅多晶气氛区熔基磷检验方法
    Testmethodforphosphoruscontentinpolycrystallinesiliconbyzone-meltingmethodundercontrolledatmosphere

    摘要:本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量(原子数)的测定，测定范围为0.01×1013cm~500×1013cm-3。

    标准编号：GB/T4059-2018
    标准类型：GB
    发布单位：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
    发布日期：2018年1月1日
    强制性标准：否
    实施日期：2019年1月1日
    关键词：

    GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法.pdf
    文件大小:
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