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[冶金] GBT 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

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2024-9-23 01:24 | 查看全部阅读模式

硅多晶气氛区熔基磷检验方法
Testmethodforphosphoruscontentinpolycrystallinesiliconbyzone-meltingmethodundercontrolledatmosphere

摘要:本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量(原子数)的测定，测定范围为0.01×1013cm~500×1013cm-3。

标准编号：GB/T4059-2018
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2018年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2019年1月1日
关键词：

GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法.pdf

2024-9-23 01:24 上传

GBT 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法.pdf

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多晶, 气氛

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