[冶金] GBT 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

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砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
Measuringthicknessofepitaxiallayersofgalliumarsenidebyinfraredinterference

摘要:本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω•cm，外延层的电阴率大于0.1Ω•cm。

标准编号：GB/T8758-2006
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2006年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2006年1月1日
关键词：干涉测量法,红外线辐射,砷化物,厚度测量,外延层,镓无机化合物,砷,INTERFEROMETRY,INFRAREDRADIATION,ARSENIDES,THICKNESSMEASUREMENT,EPITAXIALLAYERS,GALLIUMINORGANICCOMPOUNDS

GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法.pdf

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外延, 厚度, 干涉, 测量方法

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