硅多晶
Specificationforpolycrystallinesilicon
摘要:本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。
标准编号：GB/T12963-2009
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2009年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2010年1月1日
关键词：金属,硅,晶体,晶体系统,半导体,METALS,METAL,SILICON,SILICONE,CRYSTALS,CRYSTALSYSTEMS,SEMICONDUCTORS
GB/T 12963-2009 硅多晶.pdf
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