GBT 13389-1992 掺硼碜磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

掺硼碜磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
Practiceforconversionbetweenresistivityanddopantdensityforboron-dopedandphosphorus-dopedsilicon

摘要:本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。本标准适用于掺杂剂浓度10～10cm（电阻率0.0001～10，000Ω·cm）掺硼硅单晶和10～5×10cm（电阻率0.0002～4，000Ω·cm）掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算，也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。

标准编号：GB/T13389-1992
标准类型：CF
发布单位：CN-GB
发布日期：1992年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1992年1月1日
关键词：掺杂剂,电阻率,变换,磷,硅,规则,硼,Phosphorus,Silicon,Regulations,Conversion,Dopingagents,Electricalresistivity,Boron

GB/T 13389-1992 掺硼碜磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程.pdf

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