一、基本信息
文档名称:T_CCSAS 052—2025_三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范
文档格式:pdf格式
文档大小:0.5MB
总页数:23页
二、简介
《T_CCSAS 052—2025 三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范》是一部针对多晶硅生产过程中安全技术要求的行业标准。该规范适用于采用三氯氢硅还原法生产多晶硅的企业,涵盖了工艺流程、设备设施、操作管理、应急处理等方面的安全要求。旨在提升生产过程中的安全管理水平,预防和减少安全事故的发生,保障从业人员的生命安全和企业财产安全。规范的发布实施,对推动多晶硅行业的可持续发展具有重要意义。
三、预览
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