T_CIET 1279—2025_碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法（PVT）.pdf

一、基本信息

文档名称：T_CIET 1279—2025_碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法（PVT）

文档格式：pdf格式

文档大小：0.77MB

总页数：12页

二、简介

《T_CIET 1279—2025 碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法（PVT）》是一项针对碳化硅单晶生长的技术标准，规定了采用物理气相传输法（PVT）制备碳化硅单晶的工艺流程、设备要求、质量控制及检测方法。该规范适用于碳化硅半导体材料的生产与应用，旨在提高产品质量和一致性，推动相关产业的规范化发展。

三、预览

T_CIET 1279—2025_碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法（PVT）.pdf

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