[冶金] GBT 16595-2019 晶片通用网格规范

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admin 发表于 2024-9-22 22:32 | 查看全部阅读模式

晶片通用网格规范
Specificationforauniversalwafergrid

摘要:本标准规定了可用于定量描述圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。本标准适用于标称直径100mm~200mm的硅片，也适用于其他半导体材料晶片。

标准编号：GB/T16595-2019
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2019年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2020年1月1日
关键词：

GB/T 16595-2019 晶片通用网格规范.pdf

2024-9-22 22:32 上传

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晶片, 网格, 通用

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