GBT 24582-2009 酸浸取.电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质

酸浸取.电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
Testmethodformeasuringsurfacemetalcontaminationofpolycrystallinesiliconbyacidextraction-inductivelycoupledplasmamassspectrometry

摘要:本标准规定了用酸从多晶硅块表面浸取金属杂质，并用电感耦合等离子质谱仪定量检测多晶硅表面上的金属杂质痕量分析方法。本标准适用于碱金属、碱土金属和第一系列过渡元素如钠、钾、钙、铁、镍、铜、锌以及其他元素如铝的检测。本标准适用于各种棒、块、粒、片状多晶表面金属污染物的检测。由于块、片或粒形状不规则，面积很难准确测定，故根据样品重量计算结果，使用的样品重量为50g～300g，检测限为0.01ng/mL。酸的浓度、组成、温度和浸取时间决定着表面腐蚀深度和表面污染物的浸取效益。在这个实验方法中腐蚀掉的样品重量小于样品的重量的1%。本标准适用于重量为25g～5000g的样品的测定，为了达到仲裁的目的，该实验方法规定样品的重量为约300g。

标准编号：GB/T24582-2009
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2009年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2010年1月1日
关键词：硅,化学分析和试验,半导体,含量测定,晶体,杂质,SILICON,SILICONE,CHEMICALANALYSISANDTESTING,SEMICONDUCTORS,CONTENTDETERMINATION,CONTENTDETERMINATIONS,DETERMINATIONOFCONTENT,CRYSTALS,IMPURITIES,IMPURITY

GB/T 24582-2009 酸浸取.电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质.pdf

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