GBT 26074-2010 锗单晶电阻率直流四探针测量方法

锗单晶电阻率直流四探针测量方法
Germaniummonocrystal.Measurementofresistivity-DClinearfour-pointprobe

摘要:本标准规定了用直流四探针法测量锗单晶电阻率的方法。本标准适用于测量试样厚度和从试样边缘与任一探针端点的最近距离二者均大于探针间距的4倍锗单晶的电阻率及测量直径大于探针间距的10倍、厚度小于探针间距4倍锗单晶圆片的电阻率。测量范围为1×10Ω•cm～1×10Ω•cm。

标准编号：GB/T26074-2010
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2011年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2011年1月1日
关键词：单晶,探针,半导体材料,锗,电阻率,SINGLECRYSTAL,PROBES,SEMICONDUCTORMATERIALS,GERMANIUM,ELECTRICALRESISTIVITY,RESISTIVITY

GB/T 26074-2010 锗单晶电阻率直流四探针测量方法.pdf

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