GBT 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法

光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
Testmethodformeasuringphosphorus,arsenicandantimonyinsiliconmaterialsusedforphotovoltaicapplicationsbysecondaryionmassspectrometry

摘要:本标准规定了用二次离子质谱仪(SIMS)测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法。本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析,其中磷、砷和锑的浓度均大于1×10atoms/cm。

标准编号：GB/T29852-2013
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2013年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2014年1月1日
关键词：光电池,光电器件,质谱法,含量测定,硅,OPTICALCELLS,PHOTOELECTRICCELLS,PHOTOELECTRICDEVICES,PHOTOVOLTAICS,CONTENTDETERMINATION,CONTENTDETERMINATIONS,DETERMINATIONOFCONTENT,SILICON,SILICONE

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