[冶金] GBT 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱

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admin 发表于 2024-9-22 21:59 | 查看全部阅读模式

硅材料原生缺陷图谱
Metallographscollectionfororiginaldefectsofcrystallinesilicon

摘要:本标准给出了硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料的各种原生缺陷及其密切相关诱生缺陷的术语及其形貌特征图谱。分析了其产生的原因和消除方法。本标准适用于硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料生产研究中各种缺陷的检验。硅器件、集成电路的生产研究也可参考本标准。

标准编号：GB/T30453-2013
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2013年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2014年1月1日
关键词：硅材料,原生缺陷,缺陷,图谱,冶金,半导体材料

GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱.pdf

2024-9-22 21:59 上传

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图谱, 缺陷, 材料

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