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[冶金] GBT 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法

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Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法
TestmethodforcrystalqualityofⅢ-nitrideepitaxiallayers

摘要:本标准规定了利用高分辨X射线衍射仪测试Ⅲ族氮化物外延片结晶质量的方法。本标准适用于在氧化物衬底(AlO、ZnO等)或半导体衬底(GaN、Si、GaAs、SiC等)上外延生长的氮化物(Ga、In、Al)N单层或多层异质外延片结晶质量的测试。其他异质外延片结晶质量的测试也可参考本标准。

标准编号：GB/T30653-2014
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2014年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2015年1月1日
关键词：

GB/T 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法.pdf

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GBT 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法.pdf

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氮化物, 外延, 结晶, 质量, 测试

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