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GBT 34481-2017 低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度EPD的测量 ...
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[冶金]
GBT 34481-2017 低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度EPD的测量方法
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admin
发表于 2024-9-22 21:52
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低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法
Testmethodformeasuringetchpitdensity(EPD)inlowdislocationdensitymonocrystallinegermaniumslices
摘要:本标准规定了低位错密度锗单晶片的腐蚀坑密度(EPD)的测量方法。本标准适用于测试位错密度小于1000个/cm2、直径为75mm~150mm的圆形锗单晶片的位错腐蚀坑密度。
标准编号:GB/T34481-2017
标准类型:GB
发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期:2017年1月1日
强制性标准:否
实施日期:2018年1月1日
关键词:
GB/T 34481-2017 低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法.pdf
2024-9-22 21:52 上传
GBT 34481-2017 低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度EPD的测量方法.pdf
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测量方法
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