[冶金] GBT 43313-2023 碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试　共焦点微分干涉法

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admin 发表于 2024-9-22 21:37 | 查看全部阅读模式

碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试　共焦点微分干涉法
Testmethodforsurfacequalityandmicropipedensityofpolishedsiliconcarbidewafers—Confocalanddifferentialinterferometryoptics

摘要:本文件规定了4H碳化硅抛光片表面质量和微管密度的共焦点微分干涉测试方法。本文件适用于直径为50.8mm、76.2mm、100mm、150mm、200mm，厚度范围为300μm～1000μm碳化硅抛光片的表面质量和微管密度的测试。

标准编号：GB/T43313-2023
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2023年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2024年1月1日
关键词：

GB/T 43313-2023 碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试　共焦点微分干涉法.pdf

2024-9-22 21:37 上传

GBT 43313-2023 碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试　共焦点微分干涉法.pdf

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微管, 碳化硅, 微分, 抛光, 干涉

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