[冶金] GBT 43315-2023 硅片流动图形缺陷的检测　腐蚀法

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admin 发表于 2024-9-22 21:37 | 查看全部阅读模式

硅片流动图形缺陷的检测　腐蚀法
Testmethodforflowpatterndefectsinsiliconwafer—Etchingtechnique

摘要:本文件规定了化学腐蚀后用金相显微镜检测硅片流动图形缺陷的方法。本文件适用于电阻率大于1Ω·cm的硅片流动图形缺陷的检测。

标准编号：GB/T43315-2023
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2023年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2024年1月1日
关键词：

GB/T 43315-2023 硅片流动图形缺陷的检测　腐蚀法.pdf

2024-9-22 21:37 上传

GBT 43315-2023 硅片流动图形缺陷的检测　腐蚀法.pdf

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硅片, 腐蚀, 缺陷, 图形, 流动

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