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[冶金] GBT 43894.1-2024 半导体晶片近边缘几何形态评价第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）

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2024-9-22 21:36 | 查看全部阅读模式

半导体晶片近边缘几何形态评价第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）
Practicefordeterminingsemiconductorwafernear-edgegeometry—Part1:Measuredheightdataarrayusingacurvaturemetric（ZDD）

摘要:

标准编号：GB/T43894.1-2024
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2024年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2024年1月1日
关键词：

GB/T 43894.1-2024 半导体晶片近边缘几何形态评价第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）.pdf

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半导体, 导数, 晶片, 几何, 形态

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