一种X射线数字成像检测缺陷尺寸的测量方法

一种X射线数字成像检测缺陷尺寸的测量方法
摘要：提出了一种X射线数字成像检测缺陷尺寸的测量方法。借鉴半波高法，以半波高法下的尺寸测量误差为基准，对不同缝隙尺寸试样在相同的检测条件下进行X射线数字成像检测，计算该检测条件下的总不清晰度，总结出缺陷尺寸与总不清晰度比值同波高比例的关系，并通过试验进行了验证。结果表明，该方法简单、实用性强，可为实现缺陷尺寸的准确测量提供技术支持。

标题：一种X射线数字成像检测缺陷尺寸的测量方法

作者：董方旭,王从科,凡丽梅,赵付宝,张霞,郑素萍,

关键词：X射线数字成像检测,缺陷尺寸测量,波高比例,

发表日期：2020年2月

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