调制传递函数曲线在小缺陷工业CT检测中的应用

调制传递函数曲线在小缺陷工业CT检测中的应用
摘要：尺寸测量是工业CT的一个重要应用方向，但工业CT检测是非直接测量方式，尺寸测量是通过CT像素尺寸和像素值作为特征量来计算并实现的。当尺寸接近或小于有效射束宽度（BW）的小细节或小缺陷尺寸测量时，使用常规的半高宽方法的测量误差很大，测量方法不再适用。采用调制传递函数曲线为特征量，通过软件统计计算等效直径的方法来确定小缺陷的尺寸。经过试验验证，这种测量方法对小缺陷尺寸的测量精度最差为13.8%，87%以上的测量结果精度优于10%，具有有效性和适用性。

标题：调制传递函数曲线在小缺陷工业CT检测中的应用

作者：检测中的应用张维国,韩博,倪培君,张智涵,齐子诚,付康,

关键词：工业CT,小缺陷,调制传递函数曲线,尺寸测量,

发表日期：2020年8月

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