具有择优取向性的基材表面的薄膜厚度的X射线衍射测量修正

具有择优取向性的基材表面的薄膜厚度的X射线衍射测量修正
根据薄膜对X射线的吸收效应, 利用X射线衍射方法可测量出多晶基材表面的薄膜厚度。但试验结果显示, 基材的择优取向效应对薄膜厚度的测量影响显著。根据理论分析, 提出了择优取向修正方法。在对X射线衍射数据进行择优取向修正后, 利用最小二乘法对修正后的数据进行拟合。拟合结果显示, 该方法可以有效地对基材的择优取向效应进行修正, 从而获得较为准确的薄膜厚度值。

标题：具有择优取向性的基材表面的薄膜厚度的X射线衍射测量修正

作者：张延志,赖新春,管卫军,王勤国,

关键词：X射线衍射,择优取向,厚度测量,基材,薄膜,

发表日期：2009年8月

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