文档名：MEMS磁电耦合矢量水声传感器研制
摘要：本文提出了一种基于磁电耦合原理和MEMS加工工艺的矢量水声传感器.该矢量水声传感器的MEMS敏感检测单元包括磁电耦合材料、八悬臂梁—中心质量块MEMS元件和永磁铁.采用电荷放大信号处理电路处理敏感检测单元产生的信号.通过对磁电耦合材料、MEMS元件和信号处理电路进行设计,使矢量水声传感器在工作时具有很高的灵敏度.通过声学灌封完成矢量水声传感器的制备,并对矢量水声传感器的性能进行了测试,测试结果表明:该矢量水声传感器的接收灵敏度在1000Hz时达到-180dB(0dBre1V/μPa).
Abstract：Avectorhydrophonebasedonmagnetoelectric(ME)effectandMEMStechnologyisproposed.TheMEMSsensitivedetectionunitofvectorhydrophoneincludesMEmaterial,theMEMScomponentofeightcantileverbeams-centermassblock,andpermanentmagnets.Thisarticleusesachargeamplificationsignalprocessingcircuittoprocesssignalsgeneratedbysensitivedetectionunits.BydesigningMEmaterial,MEMScomponentandsignalprocessingcircuits,makesthevectorhydrophoneshavinghighsensitivityduringoperation.Thepreparationofvectoracousticsensoriscompletedthroughacousticpotting,andtheperformanceofvectorhydrophonearetested.Thetestresultsindicatethatthereceivingsensitivityofthevectorhydrophoneis-180dB(0dBre1V/μPa)(@1000Hz).
作者：宫占江 孙立凯 宋尔冬 邵志强 陈亚洲Author：GONGZhanjiang SUNLikai SONGErdong SHAOZhiqiang CHENYazhou
作者单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150028
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2024, 43(5)
分类号：TP212
关键词：磁电耦合 微机电系统 灵敏度 矢量水声传感器
Keywords：magnetoelectric MEMS sensitivity vectorhydrophone
机标分类号：TP212TH113.21G804.7
在线出版日期：2024年5月17日
基金项目：MEMS磁电耦合矢量水声传感器研制[
期刊论文] 传感器与微系统--2024, 43(5)宫占江 孙立凯 宋尔冬 邵志强 陈亚洲本文提出了一种基于磁电耦合原理和MEMS加工工艺的矢量水声传感器.该矢量水声传感器的MEMS敏感检测单元包括磁电耦合材料、八悬臂梁—中心质量块MEMS元件和永磁铁.采用电荷放大信号处理电路处理敏感检测单元产生的信号.通...参考文献和引证文献
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