文档名：45°倾斜应用的多通道干涉截止滤光片研制
摘要：光纤通信的发展对通信器件中薄膜滤光片提出了新的要求.根据45°倾斜应用的多通道干涉截止滤光片的设计指标,选择Nb2O5和SiO2结合APS1104型镀膜机的特点,分析了设计膜系的膜层灵敏度和薄膜生长过程中的模拟监控曲线,判断设计薄膜的可镀制性.然后采取直接光学监控方式,选择合适的镀制工艺成功镀制滤光片.测试结果表明:滤光片在45°倾斜应用条件下,1255～1365nm、1475～1502nm双通带最大插入损耗为0.199dB,1547～1565nm为反射带,通带隔离度为17.3dB,满足系统应用需求.
Abstract：Developmentofopticalfibercommunicationputsforwardnewrequirementsofthinfilmfiltersincommunicationdevices.Accordingtothedesignspecificationsofmulti-channelinterferencecut-offfilterfor45°tiltapplication,Nb2O5andSiO2areselectedashighandlowrefractiveindexmaterialstodesignirregular,sothatitcanreducetheinfluenceofpolarizationeffect.CombinedwiththecharacteristicsoftheAPS1104typecoatingmachine,layerssensitivityoftheformulaandthesimulationmonitoringcurveduringthinfilmgrowthprocessareanalyzedtojudgetheproducibilityofthedesignedthin-film.Then,thefilterissuccessfullydepositedbyadoptingdirectopticalmonitoringmodeandselectingappropriatedepositionprocess.Thetestresultsshowthatundertheconditionof45°tiltapplication,themaximuminsertionlossof1255～1365nmand1475～1502nmdoublepassbandsis0.199dB,1547～1565nmisthereflectionband,andthepassbandisolationis17.3dB,whichmeetstheapplicationrequirementsofthesystem.
作者：高晓丹 刘岚 姚敏 魏纯Author：GAOXiaodan LIULan YAOMin WEIChun
作者单位：武汉东湖学院电子信息工程学院,湖北武汉430212
刊名：传感器与微系统
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2024, 43(2)
分类号：TP212O484
关键词：薄膜 截止滤光片 偏振效应 膜系 非规整层
Keywords：thinfilm cut-offfilter polarizationeffect formula irregularlayer
机标分类号：O484TN929.11TN713
在线出版日期：2024年2月26日
基金项目：湖北省教育厅科学技术研究项目45°倾斜应用的多通道干涉截止滤光片研制[
期刊论文] 传感器与微系统--2024, 43(2)高晓丹 刘岚 姚敏 魏纯光纤通信的发展对通信器件中薄膜滤光片提出了新的要求.根据45°倾斜应用的多通道干涉截止滤光片的设计指标,选择Nb2O5和SiO2结合APS1104型镀膜机的特点,分析了设计膜系的膜层灵敏度和薄膜生长过程中的模拟监控曲线,判...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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