文档名：SMS结构的光纤FP腔压力传感器的实验研究
摘要：对单模-多模-单模(SMS)结构的光纤法布里-珀罗(F-P)腔压力传感器进行了研究.从理论上分析了SMS光纤F-P腔压力传感器的工作原理;并用有限元软件仿真了传感器的压力灵敏度为0.36μm/MPa,熔接组成光纤F-P腔传感器.实验测试结果表明:灵敏度为0.0043/N,得到峰值点幅值与压力的相关性系数R2为98.80％,具有良好的线性关系,符合光纤压力传感器的设计要求.
Abstract：OpticalfiberFabry-Perot(F-P)cavitypressuresensorbasedonsinglemode-multimode-singlemode(SMS)structureisresearched.WorkingprincipleofSMSopticalfiberF-Pcavitypressuresensoristheoreticallyanalyzed,andthefiniteelementsoftwareisusedtosimulatethepressuresensitivityofthesensortobe0.36μm/MPa.TheopticalfiberF-Pcavitysensorisformedbyfusionsplicing.Experimentaltestresultsshowthatthesensitivityis0.0043/N,andthecorrelationcoefficientbetweenthepeakpointamplitudeandpressureisR2=98.80％,whichhasagoodlinearrelationshipandmeetsthedesignrequirementsofopticalfiberpressuresensors.
作者：谢思豪 陶青 陈思远Author：XIESihao TAOQing CHENSiyuan
作者单位：湖北工业大学机械工程学院,湖北武汉430068;现代制造质量工程湖北省重点实验室,湖北武汉430068
刊名：传感器与微系统
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2024, 43(1)
分类号：TP212.9
关键词：光纤压力传感器 单模-多模-单模结构 有限元仿真
Keywords：opticalfiberpressuresensor SMSstructure finiteelementsimulation
机标分类号：
在线出版日期：2024年1月17日
基金项目：湖北工业大学绿色工业科技引领计划资助项目，大学生创新创业训练计划项目，湖北工业大学机械工程学院科研项目，湖北工业大学机械工程学院科研项目，湖北工业大学机械工程学院科研项目，湖北工业大学机械工程学院科研项目，湖北工业大学机械工程学院科研项目，湖北工业大学机械工程学院科研项目，湖北省自然科学基金资助项目SMS结构的光纤F-P腔压力传感器的实验研究[
期刊论文] 传感器与微系统--2024, 43(1)谢思豪 陶青 陈思远对单模-多模-单模(SMS)结构的光纤法布里-珀罗(F-P)腔压力传感器进行了研究.从理论上分析了SMS光纤F-P腔压力传感器的工作原理;并用有限元软件仿真了传感器的压力灵敏度为0.36μm/MPa,熔接组成光纤F-P腔传感器.实验测试...参考文献和引证文献
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