文档名：磁控溅射法制备氧化锆涂层及其绝缘性能研究
摘要：电机轴承的绝缘对于提高电动汽车的电机寿命具有重要意义.采用直流反应磁控溅射方法和正交试验设计,研究了工作气压、氧气流量和沉积温度对ZrO2绝缘涂层的影响.采用扫描电镜、X射线衍射仪及数字兆欧表对ZrO2涂层进行截面形貌、表面形貌、涂层厚度、物相结构及绝缘性能进行分析.结果表明:绝缘电阻与涂层厚度的比值R/t最低为635MΩ/μm时,涂层厚度为1.639μm,绝缘电阻值为1041MΩ;制备的ZrO2涂层结构较为致密,呈现非晶态或单斜相,随着沉积温度和氧气流量的增加,ZrO2涂层结晶明显,且有M-ZrO2(?111)晶面择优取向;氧气流量对涂层厚度影响最大,沉积温度对R/t的影响最大;涂层内部缺陷的增加和结构的疏松使得涂层绝缘性能降低,而涂层结晶度的增高及M-ZrO2(?111)晶面的择优取向会使涂层绝缘性能增强.
作者：徐文慧 刘杰 袁志响 吴泊鋆 卢文壮Author：XuWenhui LiuJie YuanZhixiang WuBojun LuWenzhuang
作者单位：南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016
刊名：电镀与精饰 ISTICPKU
Journal：Plating&Finishing
年，卷(期)：2023, 45(7)
分类号：TB43
关键词：ZrO2涂层 绝缘性能 涂层厚度 微观结构 磁控溅射
Keywords：ZrO2coatings insulationperformance coatingthickness microstructure magnetronsputtering
机标分类号：TG174.442TB383TN304.055
在线出版日期：2023年7月19日
基金项目：国家自然科学基金磁控溅射法制备氧化锆涂层及其绝缘性能研究[
期刊论文] 电镀与精饰--2023, 45(7)徐文慧 刘杰 袁志响 吴泊鋆 卢文壮电机轴承的绝缘对于提高电动汽车的电机寿命具有重要意义.采用直流反应磁控溅射方法和正交试验设计,研究了工作气压、氧气流量和沉积温度对ZrO2绝缘涂层的影响.采用扫描电镜、X射线衍射仪及数字兆欧表对ZrO2涂层进行截面形...参考文献和引证文献
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