文档名：高回弹性压阻式薄膜压力传感器的研究进展
摘要：压阻式薄膜压力传感器作为薄膜压力传感器的重要分支,具有灵敏度高、响应快、弹性好等优点,如何同时实现高灵敏度、宽工作范围、快速响应和快速回弹是未来所面临的挑战,而新型材料、结构设计、传感器制备方式及动态特性建模是高回弹性传感器研制的关键.本文归纳了基底及活性层材料制备及其相应单一微结构、仿生结构、皱褶结构的设计,同时阐述了高回弹性压阻式薄膜的制备技术,总结了薄膜压力传感器动态建模和动态补偿的方法,最后对薄膜压力传感器发展中的新需求做了展望.
Abstract：Asanimportantbranchofthinfilmpressuresensor,piezoresistivethinfilmpressuresensorhastheadvantagesofhighsensitivity,fastresponseandgoodelasticity,itisthechallengetoachievehighsensitivity,wideworkingrange,fastresponseandfastreboundatthesametimeinthefuture,andnewmaterials,structuraldesign,sensorpreparationmethodsanddynamiccharacteristicsmodelingarethekeyforhighresiliencesensors.Thedesignofsubstrateandactivelayermaterialsandtheircorrespondingsinglemicrostructures,bionicstructuresandwrinklestructuresissummarized,andthepreparationtechnologyofthinfilmsiselaborated,thedynamicmodelinganddynamiccompensationmethodofthinfilmpressuresensoraresummarized.Finally,newdemandfordevelopmentofthinfilmpressuresensorisprospected.
作者：张燕军 孙晨 高吉成 缪宏 张善文 杨坚Author：ZHANGYanjun SUNChen GAOJicheng MIAOHong ZHANGShanwen YANGJian
作者单位：扬州大学机械工程学院,江苏扬州225127
刊名：传感器与微系统
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2024, 43(4)
分类号：TP212Q212
关键词：薄膜压力传感器 制备材料 制备工艺 动态特性
Keywords：thin-filmpressuresensor preparationmaterial preparationprocess dynamiccharacteristics
机标分类号：TP212TM914.4TB383
在线出版日期：2024年4月26日
基金项目：国家自然科学基金高回弹性压阻式薄膜压力传感器的研究进展[
期刊论文] 传感器与微系统--2024, 43(4)张燕军 孙晨 高吉成 缪宏 张善文 杨坚压阻式薄膜压力传感器作为薄膜压力传感器的重要分支,具有灵敏度高、响应快、弹性好等优点,如何同时实现高灵敏度、宽工作范围、快速响应和快速回弹是未来所面临的挑战,而新型材料、结构设计、传感器制备方式及动态特性建模是...参考文献和引证文献
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