文档名：高灵敏度电容式柔性压力传感器的设计与优化
摘要：设计了基于微结构化电极与复合介电层的柔性压力传感器.传感器以碳纳米管(CNTs)与聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为电极层材料,采用工艺简单且成本低的旋涂技术将砂纸作为模板并引入CNTs制备结构化电极,同时引入CNTs对介电层进行掺杂.分析了结构化电极与介电层掺杂不同质量分数CNTs对传感器灵敏度的影响.通过2步优化使得传感器在具有60目砂纸构建的微结构电极,且CNTs掺杂质量分数为复合介电层的2.5％时,具有更高的灵敏度(0.602kPa-1),快速响应(100ms)以及良好的循环稳定性(240次).
作者：吴其皓 廖鹏飞 茅寅 戴隆超Author：WUQihao LIAOPengfei MAOYin DAILongchao
作者单位：扬州大学机械工程学院,江苏扬州225127
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(4)
分类号：TP212
关键词：压力传感器 碳纳米管 微结构电极 高灵敏度
机标分类号：TP212O657.3TN967.1
在线出版日期：2023年5月9日
基金项目：国家自然科学基金高灵敏度电容式柔性压力传感器的设计与优化[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(4)吴其皓 廖鹏飞 茅寅 戴隆超设计了基于微结构化电极与复合介电层的柔性压力传感器.传感器以碳纳米管(CNTs)与聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为电极层材料,采用工艺简单且成本低的旋涂技术将砂纸作为模板并引入CNTs制备结构化电极,同时引入CNTs对介电层进...参考文献和引证文献
参考文献
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