文档名：高频压电MEMS微镜设计与仿真
摘要：阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作.本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸.在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六边形密排的方式可以实现大于90%的占空比.所设计的微镜可以实现倾斜、偏转和活塞3种工作自由度,工作频率达到了23000Hz以上,共振偏转角度可以达到6.5°.对比传统的微镜阵列设计,本文设计提高了空间利用率和致动效率.
Abstract：Thearrayedmicromirrordesigncanrealizehigh-frequencyoperationofmicromirror.Thedesignschemeofhidingthedriverunderthehexagonalmirrorsurfaceisusedtorealizethepreparationofthemicromirrorarrayunitandreducethesizeofthemicromirror.Aflexiblestructureisintroducedinsidethemirrortoreducetheriskofmicromirrorstressfractureandimprovethereliabilityofthemicromirror.Thehexagonalclose-packedmethodcanachieveafill-factormorethan90%.Thedesignedmicromirrorcanachievethreedegreesoffreedom(DoF)oftilt,deflectionandpiston.Theoperatingfrequencycanreachmorethan23000Hz,andthedeflectionangleofharmonicresponsecanreach6.5°.Comparedtotraditionalmicromirrorarray,thisdesignimprovesspaceutilizationandactuationefficiency.
作者：张浩 汪洋 武震宇 Author：ZHANGHao WANGYang WUZhenyu
作者单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海201800;中国科学院大学,北京100049中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海201800中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海201800;中国科学院大学,北京100049;上海微技术工业研究院,上海201800;上海大学微电子学院,上海201800
刊名：传感器与微系统
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2024, 43(2)
分类号：TP212
关键词：微机电系统 压电驱动 微镜阵列 高频
Keywords：micro-electro-mechanicalsystem(MEMS) piezoelectricdrive micromirrorarray(MMA) highfrequency
机标分类号：TP271.4TH744.1TN256
在线出版日期：2024年2月26日
基金项目：国家重点研发计划，上海市产业协同创新项目高频压电MEMS微镜设计与仿真[
期刊论文] 传感器与微系统--2024, 43(2)张浩 汪洋 武震宇阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作.本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸.在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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