文档名：高气压激光维持氩等离子体实验与仿真
摘要：激光维持等离子体(LSP)作为一种先进光源,具有高稳定性、宽光谱和高亮度的特点,应用价值高且广泛,例如基于LSP深紫外辐射的半导体表面高灵敏缺陷检测.LSP源的深紫外辐射产生过程及优化一直备受关注,实际测量较困难且有局限.该文以氩气LSP(气压>106Pa)为例,结合实验光谱测量及零维全局模型,探究了氩气LSP自持放电过程,获取了准分子Ar2*的主要产生及消失路径,并研究了氩气气压与激光功率对Ar2*的影响机制,基于此预判了气压与激光功率对Ar2*126nm深紫外辐射的优化趋势,指出提高气体压强是增强126nm辐射强度的一种经济且有效的方式.
作者：王大智 袁博文 卢琪 乔俊杰 熊青Author：WangDazhi YuanBowen LuQi QiaoJunjie XiongQing
作者单位：输配电装备及系统安全与新技术国家重点实验室(重庆大学)重庆400044
刊名：电工技术学报 ISTICEIPKU
Journal：TransactionsofChinaElectrotechnicalSociety
年，卷(期)：2023, 38(9)
分类号：O539TM213
关键词：激光维持等离子体 真空紫外辐射 光谱测量 零维模型 Ar2*分子
机标分类号：TN241O532.25TK124
在线出版日期：2023年5月24日
基金项目：国家自然科学基金，国家自然科学基金高气压激光维持氩等离子体实验与仿真[
期刊论文] 电工技术学报--2023, 38(9)王大智 袁博文 卢琪 乔俊杰 熊青激光维持等离子体(LSP)作为一种先进光源,具有高稳定性、宽光谱和高亮度的特点,应用价值高且广泛,例如基于LSP深紫外辐射的半导体表面高灵敏缺陷检测.LSP源的深紫外辐射产生过程及优化一直备受关注,实际测量较困难且有局...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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