文档名：氮化铝Lamb波谐振器的能量损耗分析研究
摘要：本文介绍了工作频率为400MHz和2GHz氮化铝Lamb波谐振器的结构设计、微纳制造及测试表征,研究了锚点损耗和声子间相互作用损耗对Lamb波谐振器品质因数(Q值)的影响,并分析了不同工作频率的Lamb波谐振器的主要能量损耗来源.研究发现:对于低频谐振器,锚点损耗为其主要能量损耗来源,因此减小支撑轴宽度可减少通过支撑轴泄漏至衬底的能量,进而提高Q值;对于高频谐振器,声子间相互作用损耗为其主要能量损耗来源,因此相比于金(Au),采用铝(Al)作为叉指电极(IDT)材料的谐振器具有更高Q值.针对Lamb波谐振器的结构特点,设计了一套基于七步光刻工艺的微纳制程,成功制备了具有微型化释放腔体的Lamb波谐振器,并具备优异的性能.测试结果表明,工作频率为400MHz和2GHz的Al-IDT谐振器的串联品质因数(Qs)分别达到2590和1192.
作者：赵继聪 吕世涛 张敖宇 宋晨光 孙海燕 Author：ZHAOJi-cong LüShi-tao ZHANGAo-yu SONGChen-guang SUNHai-yan
作者单位：南通大学江苏省专用集成电路设计重点实验室,江苏南通226019;南通大学信息科学技术学院,江苏南通226019南通大学电气工程学院,江苏南通226019
刊名：电子学报 ISTICEIPKU
Journal：ActaElectronicaSinica
年，卷(期)：2023, 51(1)
分类号：TN4TN712
关键词：微机电系统 Lamb波谐振器 品质因数 能量损耗 制备工艺
机标分类号：TM464O469TM351
在线出版日期：2023年3月10日
基金项目：国家自然科学基金，国家自然科学基金氮化铝Lamb波谐振器的能量损耗分析研究[
期刊论文] 电子学报--2023, 51(1)赵继聪 吕世涛 张敖宇 宋晨光 孙海燕本文介绍了工作频率为400MHz和2GHz氮化铝Lamb波谐振器的结构设计、微纳制造及测试表征,研究了锚点损耗和声子间相互作用损耗对Lamb波谐振器品质因数(Q值)的影响,并分析了不同工作频率的Lamb波谐振器的主要能量损耗来源...参考文献和引证文献
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