文档名：高压驱动的三波腹多环盘式硅微陀螺仪
摘要：设计和研究了一种带有高压驱动电路的多环盘式硅微陀螺仪(DRG).该陀螺仪具有MEMS嵌套环结构,工作在三波腹(n=3)的振动模态下,主振型和从振型之间具有更小的频率裂解.系统采用双闭环测控电路驱动,结构简单,具有良好的稳定性和较大的带宽.其中刚度调谐和正交误差校正所需要的高压直流电由小型化的Boost升压电路提供.样机测试结果表明闭环Boost升压电路精度高,对陀螺仪的零偏不稳定性影响小.陀螺仪具有高品质因数(Q=36503)、低非线性度(314×10-6)、低角度随机游走(0.1664°/h)以及低零偏不稳定性(2.0229°/h).
作者：夏敦柱 姚默晗 杜森Author：XIADunzhu YAOMohan DUSen
作者单位：东南大学仪器科学与工程学院,江苏南京210096
刊名：传感技术学报 ISTICPKU
Journal：ChineseJournalofSensorsandActuators
年，卷(期)：2023, 36(1)
分类号：TP212V241
关键词：多环盘式陀螺仪 三波腹 双闭环电路 Boost升压电路 正交误差校正
机标分类号：TM615TM464TN253
在线出版日期：2023年3月23日
基金项目：国家自然科学基金高压驱动的三波腹多环盘式硅微陀螺仪[
期刊论文] 传感技术学报--2023, 36(1)夏敦柱 姚默晗 杜森设计和研究了一种带有高压驱动电路的多环盘式硅微陀螺仪(DRG).该陀螺仪具有MEMS嵌套环结构,工作在三波腹(n=3)的振动模态下,主振型和从振型之间具有更小的频率裂解.系统采用双闭环测控电路驱动,结构简单,具有良好的稳定...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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