基于FabryPerot的高灵敏度局部放电检测传感器

文档名：基于FabryPerot的高灵敏度局部放电检测传感器
摘要：提出了一种用于局部放电检测的高灵敏度微型光纤法布里—珀罗(F-P)传感器.利用MEMS技术由单模光纤端面和具有波纹结构的氮化硅(Si3N4)膜构成.实验分析了传感器不同膜片结构的性能.结果表明:所提出的传感器1kHz声信号下,声压为38.86mPa时,信噪比为80.18dB,最小可探测声压为3.07μPa/Hz1/2.此外,该传感器具有平坦的频率响应和线性的声压响应,同时具有极高的灵敏度和微小的尺寸,适合局部放电的检测实际应用.

作者：吴明孝  李雪桓  周少珍  杨威  付刚Author：WUMingxiao  LIXuehuan  ZHOUShaozhen  YANGWei  FUGang
作者单位：国网河南省电力公司电力科学研究院,河南郑州450000
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(7)
分类号：TP212TP216.1
关键词：光纤传感器  光纤法布里—珀罗  氮化硅膜  波纹膜结构  
Keywords：fiber-opticsensor  fiberFabry-Perot  siliconnitridemembrane  corrugatedmembranestructure  
机标分类号：TN713TM411TM835.1
在线出版日期：2023年7月28日
基金项目：国网河南省电力公司科技攻关项目基于Fabry-Perot的高灵敏度局部放电检测传感器[
期刊论文]  传感器与微系统--2023, 42(7)吴明孝  李雪桓  周少珍  杨威  付刚提出了一种用于局部放电检测的高灵敏度微型光纤法布里—珀罗(F-P)传感器.利用MEMS技术由单模光纤端面和具有波纹结构的氮化硅(Si3N4)膜构成.实验分析了传感器不同膜片结构的性能.结果表明:所提出的传感器1kHz声信号下...参考文献和引证文献
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2024-12-14 12:48 上传 基于FabryPerot的高灵敏度局部放电检测传感器.pdf

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